如何實(shí)現(xiàn)光學(xué)平臺(tái)的隔振？

光學(xué)平臺(tái)廣泛應(yīng)用于光學(xué)、電子、精密機(jī)械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工、無(wú)損檢測(cè)、機(jī)械工業(yè)中的精密測(cè)試儀器及設(shè)備振動(dòng)隔離。它的動(dòng)態(tài)力學(xué)性能直接影響試驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。其微振動(dòng)特性直接影響精密儀器的測(cè)量精度。由于精密隔振要求的提高，光學(xué)平臺(tái)的振動(dòng)隔離技術(shù)需要進(jìn)一步改進(jìn)。

在進(jìn)行隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)，需要考慮的干擾因素比較復(fù)雜，主要有：大型建筑物本身的搖擺、地面或地面的振動(dòng)、電器設(shè)備的振動(dòng)、各種機(jī)械的振動(dòng)、聲音引起的振動(dòng)、外部道路交通的振動(dòng)，甚至人類行走引起的振動(dòng)。

分光計(jì)的選擇對(duì)提高實(shí)驗(yàn)精度有重要意義。光平臺(tái)的隔振一般可以通過(guò)三種方式來(lái)實(shí)現(xiàn)：

隔振器：一般氣浮式隔振支架的性能一般好于阻尼隔振支架，有些性能優(yōu)良的隔振支架可達(dá)到一到兩個(gè)數(shù)量級(jí)(一般在10~200赫茲)。

臺(tái)式機(jī)質(zhì)：要求臺(tái)面有一定剛度，且重量輕(硬重比)，使臺(tái)面能有效地減少共振時(shí)的振幅，本文稍后將介紹。

臺(tái)面內(nèi)部結(jié)構(gòu)：臺(tái)面內(nèi)部結(jié)構(gòu)不但可減小支架，而且可減少或消除桌面沖擊及相對(duì)運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的振動(dòng)。

優(yōu)質(zhì)的光學(xué)平臺(tái)不僅要有高精度的機(jī)械加工，還要有高科技精度的檢測(cè)手段和儀器，高質(zhì)量的光學(xué)平臺(tái)才能保證光學(xué)實(shí)驗(yàn)的高精度和科研的正常進(jìn)行。

STACISIII為柔性主動(dòng)隔振系統(tǒng)。采用先進(jìn)的慣性振動(dòng)傳感器、控制算法和壓電驅(qū)動(dòng)器，通過(guò)連續(xù)測(cè)量地面運(yùn)動(dòng)，再濾縮地面運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)消振。本系統(tǒng)包括改進(jìn)版的DC-2020數(shù)字控制器。新一代雙核處理器、以太網(wǎng)和USB串行接口，為用戶提供現(xiàn)代、易用的圖形用戶界面(GUI)，是一種全新的控制系統(tǒng)。精微光刻、測(cè)量和檢測(cè)設(shè)備，是工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)解決方案，隔離先進(jìn)半導(dǎo)體工廠(包括但不限于：半導(dǎo)體工廠、故障分析實(shí)驗(yàn)室、納米技術(shù)研究、納米制造設(shè)施和材料研究中心)。