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如何實(shí)現光學(xué)平臺的隔振?

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如何實(shí)現光學(xué)平臺的隔振?

光學(xué)平臺廣泛應用于光學(xué)、電子、精密機械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工、無(wú)損檢測、機械工業(yè)中的精密測試儀器及設備振動(dòng)隔離。它的動(dòng)態(tài)力學(xué)性能直接影響試驗結果的準確性和可靠性。其微振動(dòng)特性直接影響精密儀器的測量精度。由于精密隔振要求的提高,光學(xué)平臺的振動(dòng)隔離技術(shù)需要進(jìn)一步改進(jìn)。

在進(jìn)行隔振系統設計時(shí),需要考慮的干擾因素比較復雜,主要有:大型建筑物本身的搖擺、地面或地面的振動(dòng)、電器設備的振動(dòng)、各種機械的振動(dòng)、聲音引起的振動(dòng)、外部道路交通的振動(dòng),甚至人類(lèi)行走引起的振動(dòng)。

分光計的選擇對提高實(shí)驗精度有重要意義。光平臺的隔振一般可以通過(guò)三種方式來(lái)實(shí)現:

隔振器:一般氣浮式隔振支架的性能一般好于阻尼隔振支架,有些性能優(yōu)良的隔振支架可達到一到兩個(gè)數量級(一般在10~200赫茲)。

臺式機質(zhì):要求臺面有一定剛度,且重量輕(硬重比),使臺面能有效地減少共振時(shí)的振幅,本文稍后將介紹。

臺面內部結構:臺面內部結構不但可減小支架,而且可減少或消除桌面沖擊及相對運動(dòng)產(chǎn)生的振動(dòng)。

優(yōu)質(zhì)的光學(xué)平臺不僅要有高精度的機械加工,還要有高科技精度的檢測手段和儀器,高質(zhì)量的光學(xué)平臺才能保證光學(xué)實(shí)驗的高精度和科研的正常進(jìn)行。

STACISIII為柔性主動(dòng)隔振系統。采用先進(jìn)的慣性振動(dòng)傳感器、控制算法和壓電驅動(dòng)器,通過(guò)連續測量地面運動(dòng),再濾縮地面運動(dòng),實(shí)現實(shí)時(shí)消振。本系統包括改進(jìn)版的DC-2020數字控制器。新一代雙核處理器、以太網(wǎng)和USB串行接口,為用戶(hù)提供現代、易用的圖形用戶(hù)界面(GUI),是一種全新的控制系統。精微光刻、測量和檢測設備,是工業(yè)標準解決方案,隔離先進(jìn)半導體工廠(chǎng)(包括但不限于:半導體工廠(chǎng)、故障分析實(shí)驗室、納米技術(shù)研究、納米制造設施和材料研究中心)。



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